測量應(yīng)用：聚酰亞胺（PI）薄膜面密度/厚度一致性在線測量

材料與規(guī)格：聚酰亞胺薄膜，厚度范圍5~100μmm

測厚方案：銳奇超軟低能X射線在線測厚儀；

采用超軟低能的5KevX射線發(fā)射器，引進(jìn)德國前置放大電路和探測器技術(shù)，超高信噪比和重復(fù)精度，適用于超薄材料或涂層的面密度/厚度一致性在線測量。

測量范圍：0 ~200g/㎡或 0~200μ； 測量重復(fù)性精度： ±0.08g/㎡ 或 ±0.08μm

測量方式：掃描測量、定點(diǎn)測量、循環(huán)定點(diǎn)測量，全檢測量。

功能模塊：在線測量、實(shí)時(shí)曲線與品質(zhì)數(shù)據(jù)顯示、五限品質(zhì)控制、多重超限預(yù)警/報(bào)警、

全價(jià)值海量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/追溯、歷史曲線復(fù)顯、自動(dòng)SPC分析、自動(dòng)生成品質(zhì)卷報(bào)、MES對(duì)接，以及自動(dòng)閉環(huán)控制。

應(yīng)用現(xiàn)場：